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ニコンエンジニアリングが縮小投影露光装置の受注を開始 |
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 株式会社ニコンは、12月12日に、子会社である株式会社ニコンエンジニアリング（本社：横浜市神奈川区）が、ニコンエンジニアリングNES1-h02の受注を12月より開始する、と発表した。
縮小投影露光装置は、磁気ヘッドのABS加工、LEDパターンニングや各種MEMSデバイス製作などで使用されるレチクル像を精密に縮小投影して、微細パターンを形成するもの。今回受注を開始するNES1-h02は、NA0.16、φ11mmとこれまでより露光エリアの大きな投影レンズを搭載し、またアライメント精度1μm以下を実現した。
価格は標準仕様で1億1,000万円～、初年度に10台の販売を見込んでいる。
株式会社ニコンエンジニアリングのWebサイト：http://www.ave.nikon.co.jp/n-eng/index.htm
株式会社ニコンのWebサイト：http://www.nikon.co.jp/main/jpn/index.htm
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