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レーザーテック、ウェハ欠陥・レビュー装置の新製品を発売 |
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 レーザーテック株式会社（横浜市港北区）は、11月4日、透明ウェハの検査・解析に特化した欠陥検査・レビュー装置WASAVIシリーズTROIS32を製品化し、12月より受注を開始する、と発表した。
ワイドバンドギャップ半導体や、サファイア、石英などは透明体であるため、ウェハの裏面や装置構造物からの迷光の影響で従来技術での高感度欠陥検査が難しいという課題があるが、同社のコア技術であるコンフォーカル光学系は、焦点面以外からの光の影響を受けないためフォトマスク用サブストレートの欠陥検査装置やSiCウェハの欠陥検査装置に適用されており、新製品であるTROIS32は、コンフォーカル＋微分干渉光学系技術をベースに検査に最適な波長を選択できる光源と独自のアルゴリズムを組み合わせる事により、膜干渉や欠陥以外の表面モフォロジの影響を受けない安定した検査、またウェハに形成された構造物やデバイスパターンの欠陥検査が可能、としている。
レーザーテック：http://www.lasertec.co.jp/
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